福芯科技攜手 OPTES 亮相 CIOE 2026，VUV 光學元件精密測量方案獲行業關注

——第十屆國際先進光刻技術研討會（IWAPS 2026）現場報告紀實

發佈時間：2026-09-16　|　地點：深圳 · 深圳國際會展中心　|　會期：2026 年 9 月 9—11 日

2026 年 9 月 9 日至 11 日，第 27 屆中國國際光電博覽會（CIOE 2026）在深圳國際會展中心舉行。同期，由中國光學學會主辦的第十屆國際先進光刻技術研討會（IWAPS 2026）於 9 月 10 日至 11 日召開。福芯科技（FORTEC）作為德國 OPTES GmbH 大中華區合作夥伴深度參與本屆盛會，並由大中華區銷售總監 Vincent Lin 博士在 IWAPS 2026 作技術報告，向在場的國內外光刻與先進圖形化領域專家分享面向 VUV（真空紫外）光學元件的精密計量與質量控製方案。

一、一年一度的光電盛會，光刻技術同台對話

中國國際光電博覽會（CIOE）是全球光電產業規模***的綜合性專業展會之一，覆蓋光通信、光學、激光、紅外、傳感、新型顯示等全產業鏈。本屆為第 27 屆，展期三天，吸引了來自全球的光電企業、科研機構與專業買家匯聚深圳。

與展會同步召開的第十屆國際先進光刻技術研討會（IWAPS 2026），是本領域極具影響力的國際學術平台。本屆 IWAPS 由中國光學學會主辦，中國科學院微電子研究所、中國國際光電博覽會、光刻機製造技術創新中心、南京誠芯集成電路技術研究院有限公司承辦，國際光學工程學會（SPIE）提供技術支持，中國科學院大學集成電路學院、中國光學學會光刻技術專業委員會協辦。

圖 1　IWAPS 2026 組織架構：中國光學學會主辦，中科院微電子所、CIOE、光刻機製造技術創新中心、南京誠芯集成電路技術研究院承辦，SPIE 提供技術支持。

展會與研討會同期、同地舉行

CIOE 2026 於 9 月 9—11 日在深圳國際會展中心舉辦；IWAPS 2026 會期為 9 月 10—11 日，在展會現場同期展開。對參展企業而言，這一安排意味著「看展＋參會」兩條線可以在同一場館內完成——既能在展台上直面客戶與供應鏈，也能在研討會上掌握先進圖形化技術的***研究動向。福芯科技與 OPTES 團隊此次正是沿「展會現場走訪 + 研討會技術報告」兩條線並行推進，把產品與方案講給真正關心工藝與測量的聽眾。

圖 2　CIOE 2026 與 IWAPS 2026 主視覺：展會與研討會同期同地舉行。

二、現場報告：VUV 光學元件的精密測量與質量控製

9 月 10 日的平行分論壇上，Vincent Lin 博士代表 OPTES 與福芯科技發表題為《Precision measurement techniques for quality control of VUV optical components》（面向 VUV 光學元件質量控製的光學精密測量技術）的技術報告。

報告指出，精密計量是真空紫外（VUV）波段光學元件製造與合格判定的基石——在這一波段，表界面狀態與材料特性的規格要求極為苛刻，任何微量的吸收損耗或表面汙染都會直接削弱系統性能。圍繞這一核心問題，報告系統介紹了 OPTES 面向下一代 VUV 儀器嚴苛性能需求所構建的全流程質量控製體系：

1. 高分辨率光譜光度測量：用於反射率與透過率的精確測量，支持二維面掃描（2D-mapping）與長期穩定性評估，讓「批次內差異」與「時間維度上的漂移」同時可見。

2. 激光散射與缺陷檢測系統：實現光學表面的快速映射與缺陷識別，把大尺寸元件上難以察覺的局部異常在短時間內定位出來。

3. 角分辨散射（ARS）與雙向反射分佈函數（BRDF）測量：用於表面粗糙度的定量表徵，為拋光與鍍膜工藝提供可對比、可追溯的量化指標。

4. 樣品預處理與汙染控製：包括臭氧清洗、激光誘導退化分析，以及對碳氫化合物、水膜、清洗劑殘留等的嚴格檢測，以降低吸收損耗。

5. 原位顆粒監測與熒光研究：在真實真空工況下驗證光學元件的可靠性，避免「實驗室合格、裝機失效」的情況發生。

報告強調，上述方法組合起來，可為 VUV 光學元件提供可追溯的質量保證，滿足先進光刻、同步輻射、空間探測等高端應用對測量精度與數據可信度的嚴苛要求。

圖 3　報告現場：福芯科技大中華區銷售總監 Vincent Lin 博士在 IWAPS 2026 平行分論壇作《Precision measurement techniques for quality control of VUV optical components》技術報告。

報告人

Vincent Lin（博士）　OPTES GmbH 大中華區銷售總監 · 福芯科技（FORTEC）

負責 OPTES 在大中華區的業務拓展與客戶技術支持，長期深耕光學精密測量領域，熟悉 VUV／DUV 波段光學元件的測量需求與工藝難點。

三、現場反響：座無虛席，會後交流持續

作為本屆 IWAPS 的平行分論壇之一，報告所在會場座無虛席，來自高校、科研院所與光刻設備、光學元件、真空鍍膜企業的代表全程聽會。

圖 4　IWAPS 2026 會議現場：報告所在分論壇座無虛席，聽眾以高校、科研院所及產業界技術專家為主。

報告結束後，多位與會代表就 VUV 波段反射率標定方法、表面汙染控製與清洗工藝、光學元件長期穩定性測試等具體問題與報告人交流。這類「帶著工藝問題來的提問」，恰恰說明隨著國內先進光刻、同步輻射與空間光學等方向的推進，對 VUV 波段測量能力的需求已經從「有沒有」轉向「準不準、可否追溯」。

四、此行收穫：方案被聽見，夥伴關係被看見

從本屆 CIOE 與 IWAPS 的現場反饋來看，此行達成了三項預期目標：

1. 技術方案獲得專業聽眾認可。OPTES 與福芯科技聯合呈現的「測量 — 清潔 — 驗證」閉環思路，與國內先進光刻、同步輻射等場景中真實存在的測量痛點高度契合，報告內容屬於聽眾「正在找的答案」。

2. 建立了一批新的行業聯繫。展會與研討會期間，團隊與光刻設備、光學元件加工、真空鍍膜等領域的多家企業及科研機構建立了初步溝通渠道，為後續技術對接打下基礎。

3. 明確了本地化服務的方向。客戶關注的不隻是儀器指標，更是「誰來裝、誰來標、誰來長期維護」。這正好是福芯科技作為區域內合作夥伴的核心價值所在。

五、關於我們

圖 5　OPTES GmbH 與福芯科技：德國漢諾威激光中心（LZH）衍生企業 + 大中華區合作夥伴，共同服務中國客戶。

福芯科技 FORTEC

福芯科技（FORTEC TECHNOLOGY (HK) Co. Limited）專注於為光電、半導體與科研領域客戶提供先進光學測量與計量解決方案。作為 OPTES GmbH 的大中華區合作夥伴，福芯科技面向國內客戶提供 VUV／DUV 光學計量相關的技術支持、系統集成與本地化服務，讓高端測量能力在中國客戶現場真正落地。

OPTES GmbH

OPTES GmbH 是德國漢諾威激光中心（Laser Zentrum Hannover e.V., LZH）的衍生企業，專注於精密光學計量（Precision in Optical Metrology）領域。公司創始人 Prof. Puja Kadkhoda 在 LZH 擁有超過 30 年的光學表徵方法研究經驗，長期緻力於 VUV 波段複雜光學測試系統的開發與集成，業務範疇涵蓋需求研究、可行性分析直至完整系統交付。

聯繫我們