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EMMI激光掃描系統
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• 可安裝兩個超高靈敏度相機
• ***多可安裝5個用於OBIRCH、DALS和EOP的光源
• 單一模塊適用多種光源 (1.3µm, 1.1µm, 532nm), 支持多種分析 • 全新1.35倍宏觀鏡頭,適合微光檢測和激光分析
• 為5nm工藝SOC芯片設計的高精度工作台
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