激光焊接及切割系統
單坩堝或多坩堝電子槍用於不同材料的連續順序鍍膜
高均勻性的穹形盤或高速行星架用於剝離工藝或台階覆蓋工藝
膜厚或光學監控，石英振蕩在線膜厚和速率控製
配置加熱系統
襯底輝光放電清洗或離子輔助鍍膜
半自動或全自動控製
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詢盤
詢盤
激光焊接及切割系統
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