URE-2000A型光刻機

外形尺寸

• 1400mm（長）×(寬)× 1950mm（高）

配置

• 曝光頭
• 對準工作台
• 對準顯微鏡
• CCD對準系統（選配）
• 電控系統
• 氣動系統
• 其他附件
• 技術資料

技術參數

• 曝光面積：150mmX150mm
• 曝光波長：365nm
• 分辨力：0.8-1mm（膠厚2 mm的正膠）
• 對準精度：±0. 6mm
• 掩模樣片整體運動範圍：X：15mm;Y:15mm
• 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
• 樣片尺寸：直徑f15mm– f150mm（各種不規則片）

厚度0.1mm–5mm(可拓展至15mm)

• 曝光方式：定時（倒計時方式），0.1s-9999s
• 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
• 照明不均勻性： 2.5%（f100mm 範圍），5%（f150mm範圍）
• 雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學合像，光學***倍數400倍，光學+電子放大800倍物鏡三對：4倍、10倍、20倍目鏡三對：10倍、16倍、20倍
• 調平接觸壓力通過傳感器保證重複
• 數字設定對準間隙和曝光間隙
• 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
• 掩模相對於樣片運動行程：X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度
• ***膠厚：500m(SU8膠)
• 光源平行性：1.2
• 曝光能量密度：>18mW/cm2
• 冷卻方式：循環水+風冷   ·曝光面溫度：<30°C
• 汞燈功率：1000W（直流，進口）

URE-2000/35A型光刻機

外形尺寸

• 1200mm（長）× 900mm(寬)×  1750mm（高）

配置

• 曝光頭
• 對準工作台
• 對準顯微鏡
• 電控系統
• 氣動系統
• 其他附件
• 技術資料

技術參數

• 曝光面積：6英寸 ·曝光波長：365nm
• 分辨力：1-1.2mm（膠厚2 mm的正膠）
• 對準精度：±0.8mm
• 掩模樣片整體運動範圍：X：15mm;Y:15mm
• 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
• 樣片尺寸：直徑f15mm– f150mm（各種不規則片）

厚度0.1mm–6mm

• 曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
• 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
• 照明不均勻性： 6%（f150mm 範圍）
• 雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學合像，光學***倍數400倍，光學+電子放大800倍

物鏡三對：4倍、10倍、20倍

目鏡三對：10倍、16倍、20倍

• 調平接觸壓力通過傳感器保證重複
• 數字設定對準間隙和曝光間隙
• 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
• 掩模相對於樣片運動行程：

X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6º

• ***焦厚：350mm（SU8膠，用戶提供檢測條件）
• 光源平行性：3.5 º
• 曝光能量密度：>15mW/cm2,照明面溫度<35 º
• 單層曝光一鍵完成
• 采用球氣浮自動找平
• 汞燈功率：350W（直流，進口）