福芯科技携手 OPTES 亮相 CIOE 2026，VUV 光学元件精密测量方案获行业关注

——第十届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS 2026）现场报告纪实

发布时间：2026-09-16　|　地点：深圳 · 深圳国际会展中心　|　会期：2026 年 9 月 9—11 日

2026 年 9 月 9 日至 11 日，第 27 届中国国际光电博览会（CIOE 2026）在深圳国际会展中心举行。同期，由中国光学学会主办的第十届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS 2026）于 9 月 10 日至 11 日召开。福芯科技（FORTEC）作为德国 OPTES GmbH 大中华区合作伙伴深度参与本届盛会，并由大中华区销售总监 Vincent Lin 博士在 IWAPS 2026 作技术报告，向在场的国内外光刻与先进图形化领域专家分享面向 VUV（真空紫外）光学元件的精密计量与质量控制方案。

一、一年一度的光电盛会，光刻技术同台对话

中国国际光电博览会（CIOE）是全球光电产业规模最大的综合性专业展会之一，覆盖光通信、光学、激光、红外、传感、新型显示等全产业链。本届为第 27 届，展期三天，吸引了来自全球的光电企业、科研机构与专业买家汇聚深圳。

与展会同步召开的第十届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS 2026），是本领域极具影响力的国际学术平台。本届 IWAPS 由中国光学学会主办，中国科学院微电子研究所、中国国际光电博览会、光刻机制造技术创新中心、南京诚芯集成电路技术研究院有限公司承办，国际光学工程学会（SPIE）提供技术支持，中国科学院大学集成电路学院、中国光学学会光刻技术专业委员会协办。

图 1　IWAPS 2026 组织架构：中国光学学会主办，中科院微电子所、CIOE、光刻机制造技术创新中心、南京诚芯集成电路技术研究院承办，SPIE 提供技术支持。

展会与研讨会同期、同地举行

CIOE 2026 于 9 月 9—11 日在深圳国际会展中心举办；IWAPS 2026 会期为 9 月 10—11 日，在展会现场同期展开。对参展企业而言，这一安排意味着'看展＋参会'两条线可以在同一场馆内完成——既能在展台上直面客户与供应链，也能在研讨会上掌握先进图形化技术的最新研究动向。福芯科技与 OPTES 团队此次正是沿'展会现场走访 + 研讨会技术报告'两条线并行推进，把产品与方案讲给真正关心工艺与测量的听众。

图 2　CIOE 2026 与 IWAPS 2026 主视觉：展会与研讨会同期同地举行。

二、现场报告：VUV 光学元件的精密测量与质量控制

9 月 10 日的平行分论坛上，Vincent Lin 博士代表 OPTES 与福芯科技发表题为《Precision measurement techniques for quality control of VUV optical components》（面向 VUV 光学元件质量控制的光学精密测量技术）的技术报告。

报告指出，精密计量是真空紫外（VUV）波段光学元件制造与合格判定的基石——在这一波段，表界面状态与材料特性的规格要求极为苛刻，任何微量的吸收损耗或表面污染都会直接削弱系统性能。围绕这一核心问题，报告系统介绍了 OPTES 面向下一代 VUV 仪器严苛性能需求所构建的全流程质量控制体系：

1. 高分辨率光谱光度测量：用于反射率与透过率的精确测量，支持二维面扫描（2D-mapping）与长期稳定性评估，让'批次内差异'与'时间维度上的漂移'同时可见。

2. 激光散射与缺陷检测系统：实现光学表面的快速映射与缺陷识别，把大尺寸元件上难以察觉的局部异常在短时间内定位出来。

3. 角分辨散射（ARS）与双向反射分布函数（BRDF）测量：用于表面粗糙度的定量表征，为抛光与镀膜工艺提供可对比、可追溯的量化指标。

4. 样品预处理与污染控制：包括臭氧清洗、激光诱导退化分析，以及对碳氢化合物、水膜、清洗剂残留等的严格检测，以降低吸收损耗。

5. 原位颗粒监测与荧光研究：在真实真空工况下验证光学元件的可靠性，避免'实验室合格、装机失效'的情况发生。

报告强调，上述方法组合起来，可为 VUV 光学元件提供可追溯的质量保证，满足先进光刻、同步辐射、空间探测等高端应用对测量精度与数据可信度的严苛要求。

图 3　报告现场：福芯科技大中华区销售总监 Vincent Lin 博士在 IWAPS 2026 平行分论坛作《Precision measurement techniques for quality control of VUV optical components》技术报告。

报告人

Vincent Lin（博士）　OPTES GmbH 大中华区销售总监 · 福芯科技（FORTEC）

负责 OPTES 在大中华区的业务拓展与客户技术支持，长期深耕光学精密测量领域，熟悉 VUV／DUV 波段光学元件的测量需求与工艺难点。

三、现场反响：座无虚席，会后交流持续

作为本届 IWAPS 的平行分论坛之一，报告所在会场座无虚席，来自高校、科研院所与光刻设备、光学元件、真空镀膜企业的代表全程听会。

图 4　IWAPS 2026 会议现场：报告所在分论坛座无虚席，听众以高校、科研院所及产业界技术专家为主。

报告结束后，多位与会代表就 VUV 波段反射率标定方法、表面污染控制与清洗工艺、光学元件长期稳定性测试等具体问题与报告人交流。这类'带着工艺问题来的提问'，恰恰说明随着国内先进光刻、同步辐射与空间光学等方向的推进，对 VUV 波段测量能力的需求已经从'有没有'转向'准不准、可否追溯'。

四、此行收获：方案被听见，伙伴关系被看见

从本届 CIOE 与 IWAPS 的现场反馈来看，此行达成了三项预期目标：

1. 技术方案获得专业听众认可。OPTES 与福芯科技联合呈现的'测量 — 清洁 — 验证'闭环思路，与国内先进光刻、同步辐射等场景中真实存在的测量痛点高度契合，报告内容属于听众'正在找的答案'。

2. 建立了一批新的行业联系。展会与研讨会期间，团队与光刻设备、光学元件加工、真空镀膜等领域的多家企业及科研机构建立了初步沟通渠道，为后续技术对接打下基础。

3. 明确了本地化服务的方向。客户关注的不只是仪器指标，更是'谁来装、谁来标、谁来长期维护'。这正好是福芯科技作为区域内合作伙伴的核心价值所在。

五、关于我们

图 5　OPTES GmbH 与福芯科技：德国汉诺威激光中心（LZH）衍生企业 + 大中华区合作伙伴，共同服务中国客户。

福芯科技 FORTEC

福芯科技（FORTEC TECHNOLOGY (HK) Co. Limited）专注于为光电、半导体与科研领域客户提供先进光学测量与计量解决方案。作为 OPTES GmbH 的大中华区合作伙伴，福芯科技面向国内客户提供 VUV／DUV 光学计量相关的技术支持、系统集成与本地化服务，让高端测量能力在中国客户现场真正落地。

OPTES GmbH

OPTES GmbH 是德国汉诺威激光中心（Laser Zentrum Hannover e.V., LZH）的衍生企业，专注于精密光学计量（Precision in Optical Metrology）领域。公司创始人 Prof. Puja Kadkhoda 在 LZH 拥有超过 30 年的光学表征方法研究经验，长期致力于 VUV 波段复杂光学测试系统的开发与集成，业务范围涵盖需求研究、可行性分析直至完整系统交付。

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