雷科先进的晶圆激光调休机
• Linear motor XY线性马达；
• 采用IR激光；
• 透过TCP/IP 或 GPIB 连结 任何外部测量设备；
• 双Cassette设计：4“-8”；
• 自动升降台精度±1um； • 波长: 1064nm TEM00；
• Spot size: 6.5µm；
• Laser Pulse Width: <10ns；
• Laser Energy: >1W；
• 长久稳定性 (8h±°C): 3% rms；
• 晶圆处理器尺寸: 4“ ~ 8”；
• 3-轴机器人及预先对准器；
• Chuck 大小： 支持100 ~ 200mm 晶圆。
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