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激光焊接及切割系统

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多种型号，适于研发及批量生产
单坩埚或多坩埚电子枪用于不同材料的连续顺序镀膜
高均匀性的穹形盘或高速行星架用于剥离工艺或台阶覆盖工艺
膜厚或光学监控，石英振荡在线膜厚和速率控制
配置加热系统
衬底辉光放电清洗或离子辅助镀膜
半自动或全自动控制


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