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半自動金屬刻蝕機

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適應工件:2″ - 8″ 晶圓片清洗 

批量產能:8″,25 片 / 批 

工藝流程:Cu 蝕銅→QDR→QDR←QDR←Ti 刻蝕 

工藝槽功能:循環過濾 + 加熱冷卻 + 上下抖動 + 花籃提升 

主要材料:金屬骨架 + PVC/PPW 殼板,槽體采用 PPN/PVDF 材質 

運送方式:手動傳送 

節拍時間:依工藝 5 - 15 mins 可調

 (** 此設備可根據客戶要求定製全自動刻蝕機)

半自動金屬刻蝕機
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