全自動RCA清洗機
適應工件：2″ - 12″ 晶圓片清洗
批量產能：8″-12″，13 片或 25 片 / 批
工藝流程：LOAD → SPM → QDR → SC1 → QDR → SC2 → QDR → DHF → QDR→ DRYING →UNLOAD
工藝效果：顆粒去除率達≥99%
主要材料：金屬骨架 + PVC/PPW 殼板，槽體采用石英
運送方式：機械臂傳送
節拍時間：依工藝 5 - 10 mins 可調
(** 此設備可根據客戶要求定製手動 / 半自動)
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詢盤
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