全自動SPM清洗機
適應工件：2″ - 8″ 晶圓片清洗
批量產能：8″，25 片 / 批
工藝流程：SPM→QDR (40-60℃)→QDR
工藝槽功能：循環過濾 + 加熱冷卻
主要材料：金屬骨架 + PVC/PPW 殼板，槽體采用 PPN/PVDF 材質
運送方式：機械手自動前後傳送
節拍時間：依工藝 5 - 15 mins 可調
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詢盤
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全自動SPM清洗機
適應工件：2″ - 8″ 晶圓片清洗
批量產能：8″，25 片 / 批
工藝流程：SPM→QDR (40-60℃)→QDR
工藝槽功能：循環過濾 + 加熱冷卻
主要材料：金屬骨架 + PVC/PPW 殼板，槽體采用 PPN/PVDF 材質
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