全自動有機去膠清洗機
適應工件：8″ - 12″ 晶圓片清洗
批量產能：8″-12″，13 片或 25 片 / 批
工藝流程：FOUP →EFM →去膠→IPA →QDR →QDR →DRYING→ EFM→FOUP
工藝效果：去膠效率≥99%
主要材料：SUS 骨架 + SUS 殼板，槽體采用 SUS316L 石英 / PVDF/PTFE 材質
運送方式：機械臂傳送
節拍時間：依工藝 5 - 10 mins 可調
(** 此設備可根據客戶要求定製手動 / 半自動)
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詢盤
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