雷科先進的晶圓激光調休機
• Linear motor XY線性馬達；
• 采用IR激光；
• 透過TCP/IP 或 GPIB 連結 任何外部測量設備；
• 雙Cassette設計：4“-8”；
• 自動升降台精度±1um； • 波長: 1064nm TEM00；
• Spot size: 6.5µm；
• Laser Pulse Width: <10ns；
• Laser Energy: >1W；
• 長久穩定性 (8h±°C): 3% rms；
• 晶圓處理器尺寸: 4“ ~ 8”；
• 3-軸機器人及預先對準器；
• Chuck 大小： 支持100 ~ 200mm 晶圓。
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詢盤
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