SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩定運行的冷場成像技術，同時還大大提升了高通量、自動數據獲取能力。
特點：
- 二次電子像分辨率：
- 超高分辨成像 - 日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下，也可獲得超高分辨的圖像；
- 高襯度的低加速電壓背散射圖像 - 3D NAND截面觀察；在低加速電壓條件下，背散射電子信號能夠明顯的顯示出氧化矽層和氮化矽層的襯度差別；
- 快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測器（OCD）* - 由於使用了新型的OCD探測器，即使掃描時間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像；
- EM Flow Creator 允許客戶創建連續圖像采集的自動化工作流程；
- 原生支持雙顯示器，提供靈活、***的操作空間。6通道同時顯示與保存，實現快速的多信號觀測與采集。
