IR 激光掃描系統 iPHEMOS®-MPX C10506-07
iPHEMOS®-MPX 高分辨率微光顯微鏡
- 用途：檢測半導體器件缺陷引起的弱光發射和熱發射，***定位失效位置。
- 設計：倒置型，便於整晶圓測試。
三大核心技術：
- 熱輻射探測
- 微光探測
- 激光誘導芯片回路阻抗變化分析（OBIRCH 等）
主要特點：
- 可安裝 2 個超高靈敏度相機
- ***多可安裝 5 個光源（用於 OBIRCH、DALS、EOP）
- 單一模塊兼容 1.3μm、1.1μm、532nm 多種光源
- 全新 1.35 倍宏觀鏡頭，適合微光檢測和激光分析
- 為 5nm 工藝 SOC 芯片設計的高精度工作台
- 半自動探針台，支持 Die-to-Die 指引移動和探測，附帶晶圓熱力圖軟件，提升分析效率
- 高靈敏度微距鏡頭，多達 10 個適配不同檢測器靈敏度的鏡頭
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