綜合性分析探針台
CH-12 綜合性分析探針台測試系統
特點/應用
- ***可用於12英寸以內樣品測試
- 同軸絲杠傳動結構，線性移動
- 大手柄驅動，操作舒適，無回程差設計
- 針座平台快速、微調升降功能
- 可搭配多種類型顯微鏡
- 晶片測試、光電器件測試、PCB/IC測試、射頻測試、高壓大電流測試等
- 結構模塊化設計，可無縫升級
- 探針台可根據客戶要求定製。
台體規格：
| 型號 | CH-8/CH-12 |
| 樣品台尺寸 | 8英寸/12英寸 |
| 水平旋轉 | 可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 |
| X-Y移動行程 | 8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 |
| X-Y移動精度 | 10微米/1微米 |
| 樣品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環 |
| 針座平台 | U型針座平台，***多可放置10個探針座 |
| 平台升降 | 可快速升降6mm/可微調升降25mm |
| 背電極測試 | 樣品台電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極 |
| 外形尺寸 | 840mm長*600mm寬*700mm高/950mm長*700mm寬*700mm高 |
| 重量 | 約100千克/150千克 |
光學系統：
| 顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
| 移動行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉，Z軸行程50.8mm |
| 光源 | 外置LED環形光源/同軸光源 |
| CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
定位器：
| X-Y-Z移動行程 | 12mm*12mm*12mm |
| 移動精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
| 線纜 | 同軸線/三軸線 |
| 漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
| 接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
| 針尖直徑 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
| 針尖材質 | 鎢鋼/鈹銅 |
可選附件
| 加熱台 |
| 顯示器 |
| 轉接頭 |
| 射頻測試配件 |
| 屏蔽箱 |
| 光學平台 |
| 鍍金卡盤 |
| 光電測試配件 |
| 高壓測試配件 |
| 顯微鏡快速傾仰裝置 |
| 激光系統 |
| 探針卡夾具 |
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詢盤
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