高低溫探針台/高低溫真空探針台
CT-6高低溫探針台
特點/應用
- ***可用於12英寸以內樣品測試
- 采用密閉腔結構，屏蔽外部電信幹擾同時保持氮氣正壓環境下樣品在低溫時無結霜
- 優化的腔體保溫結構可以極大的減少液氮消耗量
- 可升降調節適合加裝探針卡
- 可搭配多種類型顯微鏡
- 結構模塊化設計，可無縫升級
- 探針台可根據客戶要求定製。
台體規格：
| 型號 | CT-6/CT-8/CT-12 |
| 樣品台尺寸 | 6英寸/8英寸/12英寸 |
| 水平旋轉 | 可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 |
| X-Y移動行程 | 6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 |
| X-Y移動精度 | 10微米/1微米 |
| 樣品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環 |
| 針座平台 | U型針座平台，***多可放置6~12個探針座 |
| 平台升降 | 可快速升降10mm/可微調升降10mm |
| 背電極測試 | 樣品台電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極 |
| 溫度範圍 | 負80°到正400° |
| 溫控精度 | 0.01°/0.1°/1° |
| 重量 | 約120千克/150千克 |
光學系統：
| 顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
| 移動行程 | 水平方向繞立柱旋轉/XY軸移動4英寸，Z軸行程50.8mm |
| 光源 | 外置LED環形光源/同軸光源 |
| CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
定位器：
| X-Y-Z移動行程 | 12mm*12mm*12mm |
| 移動精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
| 線纜 | 同軸線/三軸線 |
| 漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
| 接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
| 針尖直徑 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
| 針尖材質 | 鎢鋼/鈹銅 |
可選附件
| 加熱台 |
| 顯示器 |
| 轉接頭 |
| 射頻測試配件 |
| 屏蔽箱 |
| 光學平台 |
| 鍍金卡盤 |
| 光電測試配件 |
| 高壓測試配件 |
| 顯微鏡快速傾仰裝置 |
| 激光系統 |
| 探針卡夾具 |
CGO-高低溫真空探針台
- 2至6英寸樣品台
- 溫度範圍77K-675K(液氮)
- 可應用於真空及常規環境
- 超高溫度分辨率
- 兼容IV/CV/RF測試
- 特殊客製低溫系統
- 防輻射屏設計，樣品溫度均勻性更好
- 外置多探針臂，移動行程大
- 經濟實用，可無縫升級
- 具有極高穩定性
極低溫測試:
因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導緻漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，並且保持整個測試過程泵的運轉。
高溫無氧化測試：
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，並且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導緻晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，並且保持整個測試過程泵的運轉。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位於腔體外部。我們也可以選擇使用操作杆控製的自動化針座來調整探針的位置。
腔體規格：
| 型號 | CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
| 樣品台尺寸 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
| 樣品固定 | 彈簧壓片 |
| 觀察窗口 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
| 真空度 | 10-6torr |
| 探針臂接口 | 4~6個探針臂接口 |
| 其他接口 | 電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口 |
| 製冷方式 | 液氮/液氦/製冷機 |
| 溫度範圍 | 77K到573K/4.5K到573K |
| 溫控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K |
| 穩定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K |
| 外形 | 880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高 |
| 重量 | 約100千克/120千克 |
光學系統：
| 顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
| 移動行程 | 水平360度旋轉，Z軸行程50.8mm |
| 光源 | 外置LED環形光源/同軸光源 |
| CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
探針臂：
| X-Y-Z移動行程 | 50mm*50mm*50mm |
| 結構 | 外置探針臂，真空波紋管結構 |
| 移動精度 | 10微米/1微米 |
| 線纜 | 同軸線/三軸線/射頻線 |
| 漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
| 接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
| 頻率支持 | DC-67GHZ |
| 針尖直徑 | 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
其他組件：
| 真空組件 | 分子泵組/機械泵/離子泵 |
| 冷源組件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/製冷機 |
可選附件
| 超高溫配件 |
| 顯示器 |
| 轉接頭 |
| 射頻測試配件 |
| 屏蔽箱 |
| 光學平台 |
| 鍍金卡盤 |
| 光電測試配件 |
| 高壓測試配件 |
| 分子泵組 |
| 激光系統 |
| 氣敏測試配件 |
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詢盤
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