综合性分析探针台
CH-12 综合性分析探针台测试系统
特点/应用
- 最大可用于12英寸以内样品测试
- 同轴丝杠传动结构，线性移动
- 大手柄驱动，操作舒适，无回程差设计
- 针座平台快速、微调升降功能
- 可搭配多种类型显微镜
- 晶片测试、光电器件测试、PCB/IC测试、射频测试、高压大电流测试等
- 结构模块化设计，可无缝升级
- 探针台可根据客户要求定制。
台体规格：
| 型号 | CH-8/CH-12 |
| 样品台尺寸 | 8英寸/12英寸 |
| 水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 |
| X-Y移动行程 | 8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 |
| X-Y移动精度 | 10微米/1微米 |
| 样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
| 针座平台 | U型针座平台，最多可放置10个探针座 |
| 平台升降 | 可快速升降6mm/可微调升降25mm |
| 背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
| 外形尺寸 | 840mm长*600mm宽*700mm高/950mm长*700mm宽*700mm高 |
| 重量 | 约100千克/150千克 |
光学系统：
| 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
| 移动行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸/水平360度旋转，Z轴行程50.8mm |
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
| CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
定位器：
| X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm |
| 移动精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
| 线缆 | 同轴线/三轴线 |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
| 针尖直径 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
| 针尖材质 | 钨钢/铍铜 |
可选附件
| 加热台 |
| 显示器 |
| 转接头 |
| 射频测试配件 |
| 屏蔽箱 |
| 光学平台 |
| 镀金卡盘 |
| 光电测试配件 |
| 高压测试配件 |
| 显微镜快速倾仰装置 |
| 激光系统 |
| 探针卡夹具 |
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