高低温探针台/高低温真空探针台
CT-6高低温探针台
特点/应用
- 最大可用于12英寸以内样品测试
- 采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜
- 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量
- 可升降调节适合加装探针卡
- 可搭配多种类型显微镜
- 结构模块化设计，可无缝升级
- 探针台可根据客户要求定制。
台体规格：
| 型号 | CT-6/CT-8/CT-12 |
| 样品台尺寸 | 6英寸/8英寸/12英寸 |
| 水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 |
| X-Y移动行程 | 6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 |
| X-Y移动精度 | 10微米/1微米 |
| 样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
| 针座平台 | U型针座平台，最多可放置6~12个探针座 |
| 平台升降 | 可快速升降10mm/可微调升降10mm |
| 背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
| 温度范围 | 负80°到正400° |
| 温控精度 | 0.01°/0.1°/1° |
| 重量 | 约120千克/150千克 |
光学系统：
| 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
| 移动行程 | 水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm |
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
| CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
定位器：
| X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm |
| 移动精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
| 线缆 | 同轴线/三轴线 |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
| 针尖直径 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
| 针尖材质 | 钨钢/铍铜 |
可选附件
| 加热台 |
| 显示器 |
| 转接头 |
| 射频测试配件 |
| 屏蔽箱 |
| 光学平台 |
| 镀金卡盘 |
| 光电测试配件 |
| 高压测试配件 |
| 显微镜快速倾仰装置 |
| 激光系统 |
| 探针卡夹具 |
CGO-高低温真空探针台
- 2至6英寸样品台
- 温度范围77K-675K(液氮)
- 可应用于真空及常规环境
- 超高温度分辨率
- 兼容IV/CV/RF测试
- 特殊客制低温系统
- 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好
- 外置多探针臂，移动行程大
- 经济实用，可无缝升级
- 具有极高稳定性
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试：
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
腔体规格：
| 型号 | CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
| 样品台尺寸 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
| 样品固定 | 弹簧压片 |
| 观察窗口 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
| 真空度 | 10-6torr |
| 探针臂接口 | 4~6个探针臂接口 |
| 其他接口 | 电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口 |
| 制冷方式 | 液氮/液氦/制冷机 |
| 温度范围 | 77K到573K/4.5K到573K |
| 温控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K |
| 稳定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K |
| 外形 | 880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高 |
| 重量 | 约100千克/120千克 |
光学系统：
| 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
| 移动行程 | 水平360度旋转，Z轴行程50.8mm |
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
| CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
探针臂：
| X-Y-Z移动行程 | 50mm*50mm*50mm |
| 结构 | 外置探针臂，真空波纹管结构 |
| 移动精度 | 10微米/1微米 |
| 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
| 频率支持 | DC-67GHZ |
| 针尖直径 | 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
其他组件：
| 真空组件 | 分子泵组/机械泵/离子泵 |
| 冷源组件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机 |
可选附件
| 超高温配件 |
| 显示器 |
| 转接头 |
| 射频测试配件 |
| 屏蔽箱 |
| 光学平台 |
| 镀金卡盘 |
| 光电测试配件 |
| 高压测试配件 |
| 分子泵组 |
| 激光系统 |
| 气敏测试配件 |
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