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EMMI激光扫描系统 PHEMOS®-X C15765-01
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• 可安装两个超高灵敏度相机
• 最多可安装5个用于OBIRCH、DALS和EOP的光源
• 单一模块适用多种光源 (1.3µm, 1.1µm, 532nm), 支持多种分析 • 全新1.35倍宏观镜头,适合微光检测和激光分析
• 为5nm工艺SOC芯片设计的高精度工作台
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