IR 激光扫描系统 iPHEMOS®-MPX C10506-07
iPHEMOS®-MPX 高分辨率微光显微镜
- 用途：检测半导体器件缺陷引起的弱光发射和热发射，精确定位失效位置。
- 设计：倒置型，便于整晶圆测试。
三大核心技术：
- 热辐射探测
- 微光探测
- 激光诱导芯片回路阻抗变化分析（OBIRCH 等）
主要特点：
- 可安装 2 个超高灵敏度相机
- 最多可安装 5 个光源（用于 OBIRCH、DALS、EOP）
- 单一模块兼容 1.3μm、1.1μm、532nm 多种光源
- 全新 1.35 倍宏观镜头，适合微光检测和激光分析
- 为 5nm 工艺 SOC 芯片设计的高精度工作台
- 半自动探针台，支持 Die-to-Die 指引移动和探测，附带晶圆热力图软件，提升分析效率
- 高灵敏度微距镜头，多达 10 个适配不同检测器灵敏度的镜头
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