SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术，同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。
特点：
- 二次电子像分辨率：
- 超高分辨成像 - 日立的高亮度电子源可保证了即使在超低着陆电压下，也可获得超高分辨的图像；
- 高衬度的低加速电压背散射图像 - 3D NAND截面观察；在低加速电压条件下，背散射电子信号能够明显的显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别；
- 快速BSE图像：新型闪烁体背散射电子探测器（OCD）* - 由于使用了新型的OCD探测器，即使扫描时间不到1秒，也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像；
- EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程；
- 原生支持双显示器，提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存，实现快速的多信号观测与采集。
