全自动RCA清洗机
适应工件：2″ - 12″ 晶圆片清洗
批量产能：8″-12″，13 片或 25 片 / 批
工艺流程：LOAD → SPM → QDR → SC1 → QDR → SC2 → QDR → DHF → QDR→ DRYING →UNLOAD
工艺效果：颗粒去除率达≥99%
主要材料：金属骨架 + PVC/PPW 壳板，槽体采用石英
运送方式：机械臂传送
节拍时间：依工艺 5 - 10 mins 可调
(** 此设备可根据客户要求定制手动 / 半自动)
Copy product links
Long by picture save/share
INQUIRY
Add Successfully
INQUIRY
Add Successfully
