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全自动SPM清洗机
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适应工件:2″ - 8″ 晶圆片清洗
批量产能:8″,25 片 / 批
工艺流程:SPM→QDR (40-60℃)→QDR
工艺槽功能:循环过滤 + 加热冷却
主要材料:金属骨架 + PVC/PPW 壳板,槽体采用 PPN/PVDF 材质
运送方式:机械手自动前后传送
节拍时间:依工艺 5 - 15 mins 可调
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