全自动有机去胶清洗机
适应工件：8″ - 12″ 晶圆片清洗
批量产能：8″-12″，13 片或 25 片 / 批
工艺流程：FOUP →EFM →去胶→IPA →QDR →QDR →DRYING→ EFM→FOUP
工艺效果：去胶效率≥99%
主要材料：SUS 骨架 + SUS 壳板，槽体采用 SUS316L 石英 / PVDF/PTFE 材质
运送方式：机械臂传送
节拍时间：依工艺 5 - 10 mins 可调
(** 此设备可根据客户要求定制手动 / 半自动)
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