URE-2000A型光刻机

外形尺寸

• 1400mm（长）×(宽)× 1950mm（高）

配置

• 曝光头
• 对准工作台
• 对准显微镜
• CCD对准系统（选配）
• 电控系统
• 气动系统
• 其他附件
• 技术资料

技术参数

• 曝光面积：150mmX150mm
• 曝光波长：365nm
• 分辨力：0.8-1mm（胶厚2 mm的正胶）
• 对准精度：±0. 6mm
• 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
• 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
• 样片尺寸：直径f15mm– f150mm（各种不规则片）

厚度0.1mm–5mm(可拓展至15mm)

• 曝光方式：定时（倒计时方式），0.1s-9999s
• 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
• 照明不均匀性： 2.5%（f100mm 范围），5%（f150mm范围）
• 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍物镜三对：4倍、10倍、20倍目镜三对：10倍、16倍、20倍
• 调平接触压力通过传感器保证重复
• 数字设定对准间隙和曝光间隙
• 具备压印模块接口，也具备接近模块接口
• 掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度
• 最大胶厚：500m(SU8胶)
• 光源平行性：1.2
• 曝光能量密度：>18mW/cm2
• 冷却方式：循环水+风冷   ·曝光面温度：<30°C
• 汞灯功率：1000W（直流，进口）

URE-2000/35A型光刻机

外形尺寸

• 1200mm（长）× 900mm(宽)×  1750mm（高）

配置

• 曝光头
• 对准工作台
• 对准显微镜
• 电控系统
• 气动系统
• 其他附件
• 技术资料

技术参数

• 曝光面积：6英寸 ·曝光波长：365nm
• 分辨力：1-1.2mm（胶厚2 mm的正胶）
• 对准精度：±0.8mm
• 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
• 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
• 样片尺寸：直径f15mm– f150mm（各种不规则片）

厚度0.1mm–6mm

• 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
• 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
• 照明不均匀性： 6%（f150mm 范围）
• 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜三对：4倍、10倍、20倍

目镜三对：10倍、16倍、20倍

• 调平接触压力通过传感器保证重复
• 数字设定对准间隙和曝光间隙
• 具备压印模块接口，也具备接近模块接口
• 掩模相对于样片运动行程：

X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6º

• 最大焦厚：350mm（SU8胶，用户提供检测条件）
• 光源平行性：3.5 º
• 曝光能量密度：>15mW/cm2,照明面温度<35 º
• 单层曝光一键完成
• 采用球气浮自动找平
• 汞灯功率：350W（直流，进口）