CL-6系列中端探针台 (精密I-V测试测量探针台系统)
特点 / 应用
- 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等.
- 最大可用于8英寸以内样品测试
- 同轴丝杠传动结构，线性移动
- 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动
- 可升级做射频，大电流方面的测试和激光修复应用
台体规格：
| 尺寸 | 4英寸/6英寸/8英寸 |
| 水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 |
| X-Y移动行程 | 4英寸*4英寸/6英寸*6英寸 |
| X-Y移动精度 | 10微米/1微米 |
| 样品台Z轴调节 | 可升降10mm |
| 样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
| 针座平台 | U型针座平台，最多可放置6个探针座 |
| 背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
| 外形尺寸 | 400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高 |
| 重量 | 约40千克/60千克 |
光学系统：
| 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
| 移动行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8mm |
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
| CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
探针座
| X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm |
| 移动精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
| 线缆 | 同轴线/三轴线 |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
| 针尖直径 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
| 针尖材质 | 钨钢/铍铜 |
可选附件
| 加热台 |
| 显示器 |
| 转接头 |
| 射频测试配件 |
| 屏蔽箱 |
| 光学平台 |
| 镀金卡盘 |
| 光电测试配件 |
| 高压测试配件 |
| 显微镜快速倾仰装置 |
| 激光系统 |
| 探针卡夹具 |
PS:探针台可根据客户要求定制。
高低温真空探针台系列
